http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/4727| Название: | Effect of internal stress on the surface morphology of hard nanoscale carbon coatings |
| Авторы: | Kolpakov, A. Y. Galkina, M. E. Goncharov, I. Yu. Sudzhanskaya, I. V. Poplavskii, A. I. |
| Ключевые слова: | chemical technology equipment chemical production ion energy magnitude of internal stress electric conductivity surface morphology nitrogenated carbon coatings silicon produced vacuum-arc technique |
| Дата публикации: | 2008 |
| Библиографическое описание: | Effect of internal stress on the surface morphology of hard nanoscale carbon coatings / A.Y. Kolpakov, M.E. Galkina, I.Yu. Goncharov, et al. ; Belgorod State University // Nanotechnologies in Russia. - 2008. - Vol.3, N9-10.-P. 581-586. - doi: 10.1134/S1995078008090073. |
| Краткий осмотр (реферат): | The influence of ion energy on the magnitude of internal stress, electric conductivity, and surface morphology of nitrogenated carbon coatings on silicon produced by the pulsed vacuum-arc technique has been studied by scanning electron microscopy and scanning probe microscopy |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/4727 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи из периодических изданий и сборников (на иностранных языках) = Articles from periodicals and collections (in foreign languages) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Kolpakov_Effect.pdf | 640.56 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.