Skip navigation
BelSU DSpace logo

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/15686
Название: RF-Magnetron sputtering of Si3N4 and study of Si3N4/p-Si heterostructures
Авторы: Zakhvalinskii, V. S.
Goncharov, I. Yu.
Kudryavtsev, E. A.
Piluk, E. A.
Kolesnikov, D. A.
Ключевые слова: physics
solid state physics
nano-patterns
RF magnetron sputtering
thin films
solar cells
atomic force microscopy
Дата публикации: 2014
Библиографическое описание: RF-Magnetron sputtering of Si3N4 and study of Si3N4/p-Si heterostructures / V. S. Zakhvalinskii [и др.] // Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics. - 2014. - Vol.9, №4.-P. 570-575. - doi: http://dx.doi.org/10.1166/jno.2014.1627.
Краткий осмотр (реферат): Here we report the feasibility of using cheap and environmentally friendly RF-magnetron sputtering of Si3N4 and formation of Si3N4 nanostructured films with developed surface. p-Si(100) polished plates commonly used in photovoltaic structures were chosen as a substrate. Si3N4 film surface morphology was studied using atomic force microscopy
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/15686
Располагается в коллекциях:Статьи из периодических изданий и сборников (на иностранных языках) = Articles from periodicals and collections (in foreign languages)

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Zakhvalinskii_RF-magnetron_14.pdf327.52 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.