http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/54635| Title: | Влияние низкоэнергетичной ионной бомбардировки аргоном и азотом на свойства кремния |
| Authors: | Поплавский, А. И. Колпаков, А. Я Галкина, М. Е. Суджанская, И. В. Гончаров, И. Ю. Бондарева, Е. Н. |
| Keywords: | физика физика твердого тела кремний ионы коэффициент распыления электропроводность микротвердость трещиностойкость шероховатость поверхности |
| Issue Date: | 2012 |
| Citation: | Влияние низкоэнергетичной ионной бомбардировки аргоном и азотом на свойства кремния / А. И. Поплавский [и др.] ; НИУ БелГУ // Научные ведомости БелГУ. Сер. Математика. Физика. - 2012. - №23(142), вып.29.-С. 177-183. |
| Abstract: | Результаты исследований влияния процесса распыления Si низкоэнергетичными ионами аргона и азота (< 1 кэВ) на шероховатость поверхности, электропроводность, микротвердость и трещиностойкость |
| URI: | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/54635 |
| Appears in Collections: | № 23 (142), вып. 29 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Poplavskiy_Vliyanie_nizkoenergetichnoy.pdf | 228.3 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.