| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Поплавский, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Колпаков, А. Я | - |
| dc.contributor.author | Галкина, М. Е. | - |
| dc.contributor.author | Суджанская, И. В. | - |
| dc.contributor.author | Гончаров, И. Ю. | - |
| dc.contributor.author | Бондарева, Е. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2023-07-04T11:25:29Z | - |
| dc.date.available | 2023-07-04T11:25:29Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Влияние низкоэнергетичной ионной бомбардировки аргоном и азотом на свойства кремния / А. И. Поплавский [и др.] ; НИУ БелГУ // Научные ведомости БелГУ. Сер. Математика. Физика. - 2012. - №23(142), вып.29.-С. 177-183. | ru |
| dc.identifier.uri | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/54635 | - |
| dc.description.abstract | Результаты исследований влияния процесса распыления Si низкоэнергетичными ионами аргона и азота (< 1 кэВ) на шероховатость поверхности, электропроводность, микротвердость и трещиностойкость | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | физика | ru |
| dc.subject | физика твердого тела | ru |
| dc.subject | кремний | ru |
| dc.subject | ионы | ru |
| dc.subject | коэффициент распыления | ru |
| dc.subject | электропроводность | ru |
| dc.subject | микротвердость | ru |
| dc.subject | трещиностойкость | ru |
| dc.subject | шероховатость поверхности | ru |
| dc.title | Влияние низкоэнергетичной ионной бомбардировки аргоном и азотом на свойства кремния | ru |
| dc.type | Article | ru |
| Appears in Collections: | № 23 (142), вып. 29
|
