http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/49625| Title: | Профили внедрения, создаваемые ионами в условиях каналирования |
| Authors: | Матюхин, С. И. |
| Keywords: | физика элементарные частицы ионы ионная имплантация каналирование |
| Issue Date: | 2008 |
| Citation: | Матюхин, С.И. Профили внедрения, создаваемые ионами в условиях каналирования / С.И. Матюхин ; Орловский государственный технический университет // Научные ведомости БелГУ. Сер. Физика. Математика. - 2008. - №9(49), вып.14.-С. 58-64. |
| Abstract: | Получены аналитические выражения для профилей внедрения, которые создаются ионами, инжектированными в кристаллы в условиях каналирования |
| URI: | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/49625 |
| Appears in Collections: | № 9 (49), вып. 14 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Matukhin_S_I_Profili.pdf | 828.27 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.