| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Матюхин, С. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-11-14T16:15:12Z | - |
| dc.date.available | 2022-11-14T16:15:12Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.citation | Матюхин, С.И. Профили внедрения, создаваемые ионами в условиях каналирования / С.И. Матюхин ; Орловский государственный технический университет // Научные ведомости БелГУ. Сер. Физика. Математика. - 2008. - №9(49), вып.14.-С. 58-64. | ru |
| dc.identifier.uri | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/49625 | - |
| dc.description.abstract | Получены аналитические выражения для профилей внедрения, которые создаются ионами, инжектированными в кристаллы в условиях каналирования | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | физика | ru |
| dc.subject | элементарные частицы | ru |
| dc.subject | ионы | ru |
| dc.subject | ионная имплантация | ru |
| dc.subject | каналирование | ru |
| dc.title | Профили внедрения, создаваемые ионами в условиях каналирования | ru |
| dc.type | Article | ru |
| Appears in Collections: | № 9 (49), вып. 14
|
