http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48014| Title: | Ионно-имплантационная стимулированная технология и наноразмерные материалы. Методика получения и исследования |
| Authors: | Гугля, А. Г. Неклюдов, И. М. Марченко, И. Г. Камышанченко, Н. В. |
| Keywords: | естественные науки физика физика плазмы нанотехнологии наноразмерные материалы ионно-имплантационные технологии осаждение |
| Issue Date: | 2001 |
| Citation: | Ионно-имплантационная стимулированная технология и наноразмерные материалы. Методика получения и исследования / А.Г. Гугля, И.М. Неклюдов, И.Г. Марченко и др. // Научные ведомости БелГУ. Сер. Физика. - 2001. - №2(15).-С. 37-43. |
| Abstract: | Компьютерное и лабораторное моделирование базовых процессов ионно-имплантационной технологии стимулированного осаждения и обоснована методология применения данного метода |
| URI: | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48014 |
| Appears in Collections: | № 2 (15) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Guglya A.G._Ionno.pdf | 411.99 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.