| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Гугля, А. Г. | - |
| dc.contributor.author | Неклюдов, И. М. | - |
| dc.contributor.author | Марченко, И. Г. | - |
| dc.contributor.author | Камышанченко, Н. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-10-18T17:24:59Z | - |
| dc.date.available | 2022-10-18T17:24:59Z | - |
| dc.date.issued | 2001 | - |
| dc.identifier.citation | Ионно-имплантационная стимулированная технология и наноразмерные материалы. Методика получения и исследования / А.Г. Гугля, И.М. Неклюдов, И.Г. Марченко и др. // Научные ведомости БелГУ. Сер. Физика. - 2001. - №2(15).-С. 37-43. | ru |
| dc.identifier.uri | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48014 | - |
| dc.description.abstract | Компьютерное и лабораторное моделирование базовых процессов ионно-имплантационной технологии стимулированного осаждения и обоснована методология применения данного метода | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | естественные науки | ru |
| dc.subject | физика | ru |
| dc.subject | физика плазмы | ru |
| dc.subject | нанотехнологии | ru |
| dc.subject | наноразмерные материалы | ru |
| dc.subject | ионно-имплантационные технологии | ru |
| dc.subject | осаждение | ru |
| dc.title | Ионно-имплантационная стимулированная технология и наноразмерные материалы. Методика получения и исследования | ru |
| dc.type | Article | ru |
| Appears in Collections: | № 2 (15)
|
