http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/46975| Название: | Model for ion-assisted film growth |
| Авторы: | Bakai, A. S. Sleptsov, S. N. Zhukov, A. I |
| Ключевые слова: | science physics film ion-assisted ion energy temperature |
| Дата публикации: | 1997 |
| Библиографическое описание: | Bakai, A.S. Model for ion-assisted film growth / A.S. Bakai, S.N. Sleptsov, A.I. Zhukov ; NSC "KhFTI" // Научные ведомости Белгородского государственного университета. - 1997. - № 2 (5). - С. 75-77. |
| Краткий осмотр (реферат): | A new model of growing film densification is proposed. The film densiti as a function of ion energy and substrate temperature is investigated |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/46975 |
| Располагается в коллекциях: | № 2 (5) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Bakai_Model_for.pdf | 192.47 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.