http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/30627| Title: | Исследование влияния состава остаточных газов на твердость, адгезионные свойства и элементный состав покрытий SiC-AlN, нанесенных методом магнетронного распыления |
| Authors: | Гончаров, И. Ю. Колесников, Д. А. Новиков, В. Ю. Ковалева, М. Г. Литовченко, С. В. |
| Keywords: | физика магнетронное распыление адгезия композитная мишень микротвердость покрытия SiC-AlN газы |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Исследование влияния состава остаточных газов на твердость, адгезионные свойства и элементный состав покрытий SiC-AlN, нанесенных методом магнетронного распыления / И. Ю. Гончаров, Д. А. Колесников, В. Ю. Новиков [и др.] // Журнал нано- та електронної фізики. - 2018. - Т.10, N3. - Ст. 03028. |
| Abstract: | Методом шликерного литья из чистых порошков микронного размера SiC и AlN в молярном соотношении 1:1 была изготовлена мишень SiC-AlN для последующего магнетронного распыления. Методом магнетронного распыления композитной мишени были получены покрытия на поверхности нержавеющей стали и монокристаллического кремния. Представлены результаты исследования влияния соотношения газов рабочей атмосферы аргон-азот, на структуру, состав, механические и адгезионные свойства полученных покрытий |
| URI: | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/30627 |
| Appears in Collections: | Статьи из периодических изданий (на русском языке) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Goncharov_Issledovanie_Vliyaniya.pdf | 563.09 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.