| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Захвалинский, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Пилюк, Е. А. | - |
| dc.contributor.author | Иванчихин, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Погребняк, М. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2023-09-20T12:27:43Z | - |
| dc.date.available | 2023-09-20T12:27:43Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.citation | Оптические свойства пленок SiC, SiC₀.₇N₀.₃, Si₃N₄, полученных методом магнетронного напыления / B.C. Захвалинский, Е.А. Пилюк, С.В. Иванчихин и др. ; НИУ БелГУ // Научные ведомости БелГУ. Сер. Математика. Физика. - 2013. - №26(169), вып.33.-С. 156-158. - Библиогр.: с. 158. | ru |
| dc.identifier.uri | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/56301 | - |
| dc.description.abstract | Результаты исследований спектров поглощения тонких пленок SiC, SiC ₀.₇N₀.₃, Si₃N₄, полученных методом высокочастотного магнетронного нереактивного напыления | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | физика | ru |
| dc.subject | физика твердого тела | ru |
| dc.subject | наноразмерные тонкие пленки | ru |
| dc.subject | магнетронное нереактивное напыление | ru |
| dc.subject | электроника | ru |
| dc.title | Оптические свойства пленок SiC, SiC₀.₇N₀.₃, Si₃N₄, полученных методом магнетронного напыления | ru |
| dc.type | Article | ru |
| Appears in Collections: | № 26 (169), вып. 33
|
