http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48047| Title: | Моделирование химического состава пленок Cr-N, получаемых с помощью технологии имплантационно-стимулированного осаждения |
| Authors: | Марченко, И. Г. Гугля, А. Г. |
| Keywords: | естественные науки физика физика плазмы пленки ионные технологии азот имплантационно-стимулированное осаждение |
| Issue Date: | 2001 |
| Citation: | Марченко, И.Г. Моделирование химического состава пленок Cr-N, получаемых с помощью технологии имплантационно-стимулированного осаждения / И.Г. Марченко, А.Г. Гугля ; Научный физико-технологичский центр, г. Харьков // Научные ведомости БелГУ. Сер. Физика. - 2001. - №2(15).-С. 7-12. |
| Abstract: | Компьютерное моделирование осаждения пленок Cr-N, получаемых методом IBAD |
| URI: | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48047 |
| Appears in Collections: | № 2 (15) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Marchenko I.G._Modelirovanie.pdf | 313.92 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.