Skip navigation
BelSU DSpace logo

Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/4373
Title: Профили внедрения, создаваемые ионами в условиях каналирования
Authors: Матюхин, С. И.
Keywords: физика
элементарные частицы
ионы
ионная имплантация
каналирование
Issue Date: 2008
Publisher: Белгородский государственный университет
Citation: Матюхин, С.И. Профили внедрения, создаваемые ионами в условиях каналирования / С.И. Матюхин ; Орловский государственный технический университет // Научные ведомости БелГУ. Сер. Физика. Математика. - 2008. - №9(49), вып.14.-С. 58-64.
Abstract: Получены аналитические выражения для профилей внедрения, которые создаются ионами, инжектированными в кристаллы в условиях каналирования
URI: http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/4373
Appears in Collections:Научные ведомости БелГУ. Сер. Математика. Физика

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Matukhin_S_I_Profili.pdf828.27 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.