Skip navigation
BelSU DSpace logo

Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/3980
Title: Ионно-имплантационная стимулированная технология и наноразмерные материалы. Методика получения и исследования
Authors: Гугля, А. Г.
Неклюдов, И. М.
Марченко, И. Г.
Камышанченко, Н. В.
Keywords: естественные науки
физика
физика плазмы
нанотехнологии
наноразмерные материалы
ионно-имплантационные технологии
осаждение
Issue Date: 2001
Citation: Ионно-имплантационная стимулированная технология и наноразмерные материалы. Методика получения и исследования / А.Г. Гугля, И.М. Неклюдов, И.Г. Марченко и др. // Научные ведомости БелГУ. Сер. Физика. - 2001. - №2(15).-С. 37-43.
Series/Report no.: Физика;
Abstract: Компьютерное и лабораторное моделирование базовых процессов ионно-имплантационной технологии стимулированного осаждения и обоснована методология применения данного метода
URI: http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/3980
Appears in Collections:Научные ведомости БелГУ. Сер. Физика

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Guglya A.G._Ionno.pdf411.99 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.