http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/21147| Title: | Обеднение кремния, индуцированное пленками нитрида кремния в структуре Si/Si₃N₄/Нематик/ITO |
| Authors: | Кучеев, С. И. Межаков, Н. Н. Захвалинский, В. С. Пилюк, Е. А. |
| Keywords: | физика физика твердого тела кристаллография жидкие кристаллы кремний нематик нитрид кремния магнетрон электроды лазерное излучение светочувствительность |
| Issue Date: | 2017 |
| Citation: | Обеднение кремния, индуцированное пленками нитрида кремния в структуре Si/Si₃N₄/Нематик/ITO / С.И. Кучеев [и др.] // Научные ведомости БелГУ. Сер. Математика. Физика. - 2017. - №13(262), вып.47.-С. 85-91. - Библиогр.: с. 91. |
| Series/Report no.: | Математика. Физика; |
| Abstract: | Наноразмерные (< 10 нм) пленки нитрида кремния, полученные магнетронным напылением, изменяют порог светочувствительности МДП структуры типа Si/Si3N4/HeMaTHK 5СВ/прозрачный электрод. Сдвиг смещения порога светочувствительности демонстрирует пропорциональность толщине пленок на начальных этапах их напыления |
| URI: | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/21147 |
| Appears in Collections: | Научные ведомости БелГУ. Сер. Математика. Физика |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kucheev_Obednenie_17.pdf | 267.15 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.